1. Puritatea aerului din camera curată trebuie testată după cum urmează
(1) Stare goală, test static
Test de stare goală: Camera curată a fost finalizată, sistemul de aer condiționat purificat este în funcționare normală, iar testul este efectuat fără echipament de proces și personal de producție în cameră.
Test static: Sistemul de aer condiționat de purificare a camerei curate este în funcționare normală, echipamentul de proces a fost instalat, iar testul este efectuat fără personal de producție în cameră.
(Două) test dinamic
Camera curată a fost testată în condiții normale de producție.
Detectarea volumului de aer, vitezei vântului, presiunii pozitive, temperaturii, umidității și zgomotului în camera curată poate fi efectuată în conformitate cu reglementările relevante de utilizare generală și aer condiționat.
Tabelul nivelului de curățenie a aerului din cameră (zonă) curată
Nivel de curățenie | Număr maxim admis de particule de praf/m3≥0,5μmNumăr de particule de praf | ≥5μmNumăr de particule de praf | Numărul maxim admis de microorganisme Bacteriile planctonice/m3 | Decontare bacterii/vase |
100clasă | 3.500 | 0 | 5 | 1 |
10.000clasă | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
100,000clasă | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
300,000clasă | 10,500,000 | 60,000 | 1000 | 15 |